وافر کی صفائی اور دھوکہ دہی کو خشک کرنا

1. ویفر کی صفائی

اسٹوریج ، ہینڈلنگ ، اور ویفرز کی پروسیسنگ کے دوران ، یہ ناگزیر ہے کہ مائیکرو - یا یہاں تک کہ نینو- پیمانے پر دھول کے ذرات اور ٹریس کی ناپائیدگی ان کے ساتھ منسلک کی جائے گی - اگر مکمل طور پر ہٹا دی گئی ہے ، تو یہ آلودگی براہ راست سرکٹ پیٹرن کے نقائص کی طرف لے جائیں گی ، یا براہ راست فلم کے نقائص کی وجہ سے ، فلم کے نقائص ، یا موہنے کی طرف اشارہ کریں گے۔ لہذا ، صفائی کا عمل کل مینوفیکچرنگ مین - گھنٹے میں 20 ٪ ~ 30 ٪ کا حصہ ہے اور عمل کے استحکام کو یقینی بنانے کے لئے بنیادی لنک بن گیا ہے۔

1.1 دھول دھونے سے اچھی طرح ہٹا دیا جاتا ہے: کیمیائی اور جسمانی سڑن

تکنیکی راستے سے ، صفائی بنیادی طور پر کیمیائی سڑن اور جسمانی سڑنے کے ہم آہنگی اثر پر انحصار کرتی ہے۔

مثال کے طور پر ، اے پی ایم (امونیم ہائڈرو آکسائیڈ - ہائیڈروجن پیرو آکسائیڈ - پانی کا مرکب) نامیاتی اوشیشوں اور ذرات کو مؤثر طریقے سے دور کرسکتا ہے ، اور ایف پی ایم (ہائیڈرو فلورک ایسڈ -} ہائیڈروجن پیرو آکسائیڈ-} پانی میں ہے۔ ایس پی ایم (سلفورک ایسڈ - ہائیڈروجن پیرو آکسائیڈ ، جسے عام طور پر "پیرانہ حل" کے نام سے جانا جاتا ہے) اس کی مضبوط آکسائڈائزنگ خصوصیات کی وجہ سے ضد فوٹوورسٹ اوشیشوں کو سڑ سکتا ہے۔ جسمانی صفائی میکانکی قوتوں جیسے الٹراساؤنڈ ، میگاسونک لہروں یا اعلی - دباؤ انجیکشن جیسے چھوٹے خلیجوں میں داخل ہونے اور صفائی ستھرائی کی کارکردگی کو بہتر بنانے میں کیمیائی مائعات کی مدد کرنے کے لئے دباؤ انجیکشن کا استعمال کرتی ہے۔ دھات کی وائرنگ کے بعد حساس مرحلے کے لئے ، نامیاتی سالوینٹس جیسے الکحل اور ایسیٹون کو تیزابیت والے کیمیائی حل کو تبدیل کرنے کے لئے دھات کے سنکنرن کے خطرے سے بچنے کے لئے استعمال کیا جانا چاہئے۔

0040-09095 گیس باکس ، ڈبلیو سی وی ڈی

1.1 صفائی کا سامان

سامان کی سطح پر ، گیلے صفائی کے سامان کو دو قسموں میں تقسیم کیا گیا ہے: ٹینک کی قسم اور یک سنگی قسم: ٹینک کے سامان کو ملٹی - ٹینک سیریز کے ذریعے کیمیائی مائع تدریجی صفائی کا احساس ہوتا ہے ، جو بیچ پروسیسنگ کے لئے موزوں ہے۔ یک سنگی سامان کو روٹری اسپرے اور برش کے ذریعہ ویفر یک سنگی کی عمدہ صفائی کا احساس ہوتا ہے ، جو جدید عمل کے ذریعہ مقامی آلودگی کے سخت کنٹرول کے لئے زیادہ موزوں ہے۔ حالیہ برسوں میں ، خشک صفائی کی ٹیکنالوجیز جیسے کاربن ڈائی آکسائیڈ برف کی صفائی اور اوزون پلازما علاج نے ماحولیاتی تحفظ اور لاگت کے دباؤ کے تحت ان کی ترقی کو تیز کیا ہے جس کی وجہ سے گندے پانی کے خارج ہونے والے مادہ اور کم کیمیائی آلودگی کے فوائد ہیں۔

مثال کے طور پر ، کم - درجہ حرارت پلازما کی صفائی فعال ذرات سے سطح پر بمباری کرکے حساس ڈھانچے کو نقصان پہنچائے بغیر نانوسکل ذرات کو موثر انداز میں ختم کرسکتی ہے ، اور 3D نینڈ اسٹیکس کے مابین منظرناموں کی صفائی میں وسیع پیمانے پر استعمال ہوتی رہی ہے۔

فی الحال ، صفائی کا عمل سبز اور ذہانت کی سمت میں تیار ہورہا ہے۔ نئے ماحول دوست کیمیائی حلوں کی تحقیق اور ترقی جیسے فلورین - مفت اے پی ایم اور بائیوڈیگریڈ ایبل چیلیٹنگ ایجنٹوں نے بھاری دھات کے گندے پانی کے خارج ہونے والے مادہ کے خطرے کو مؤثر طریقے سے کم کردیا ہے۔ AI - پر مبنی اصلی - وقت کی نگرانی کا نظام صفائی کے حل کی تشکیل ، ذرہ حراستی اور سطح کی عکاسی کا تجزیہ کرکے عمل کے پیرامیٹرز کو متحرک طور پر ایڈجسٹ کرسکتا ہے تاکہ بند - لوپ کی اصلاح کو حاصل کیا جاسکے۔ یہ تکنیکی تکرار نہ صرف نانوسکل آلودگیوں کو ختم کرنے میں بہتری لاتے ہیں ، بلکہ ابھرتے ہوئے شعبوں جیسے 3D انضمام اور اعلی درجے کی پیکیجنگ جیسے اعلی - کثافت انٹرکنیکٹ ڈھانچے کی وشوسنییتا کے لئے کلیدی ضمانتیں بھی فراہم کرتے ہیں ، اور اعلی پیداوار اور کم عیب کی شرح کے مقصد کی سمت سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کو فروغ دیتے رہتے ہیں۔

2. صفائی کے بعد ویفر کو کللا اور خشک کریں

کلیننگ کا عمل الٹرا پیور واٹر کے ساتھ کیا جاتا ہے ، جو سیمیکمڈکٹر فیکٹری کے کل الٹراپر پانی کی کھپت کا ایک خاص تناسب رکھتا ہے ، اور یہ یقینی بنانا ضروری ہے کہ اس کے بعد کے عمل اور آلہ کی کارکردگی پر اوشیشوں کے ممکنہ اثرات سے بچنے کے لئے کثیر - اسٹیج کلین کے ذریعے مکمل طور پر ہٹا دیا گیا ہے۔ کلیننگ کے بعد ، ویفر سطح پر بقایا نمی کو مکمل طور پر ہٹانا بنیادی مقصد بن جاتا ہے ، اور خشک کرنے کے عمل کو متعدد ضروریات کو پورا کرنے کی ضرورت ہوتی ہے جیسے کوئی واٹر مارک ، کوئی غیر ملکی چیز آسنجن ، اور الیکٹرو اسٹاٹک تحفظ۔

2.1 روٹری خشک کرنے کا طریقہ

گھومنے والا خشک کرنے کا طریقہ وفر کی اونچی - تیز رفتار گردش کے ذریعے نمی کو دور کرنے کے لئے سینٹرفیوگل فورس کا استعمال کرتا ہے ، لیکن گردش کے عمل کے دوران ویفر سطح اور نائٹروجن کے مابین رگڑ جامد بجلی کا شکار ہوتا ہے ، جس کی وجہ سے اس آلے کے الیکٹروسٹیٹک خرابی کا خطرہ ہوسکتا ہے۔

اس وجہ سے ، عمل کی حفاظت کو یقینی بنانے کے ل stat جامد غیر جانبداری کے علاج کے لئے الیکٹرانک شاور سے میچ کرنا ضروری ہے۔ اس طریقہ کار کے فوائد آسان آپریشن اور کم لاگت ہیں ، لیکن اس کے لئے اعلی سامان کی درستگی اور ماحولیاتی صفائی کی ضرورت ہوتی ہے ، اور ثانوی آلودگی سے بچنے کے لئے گردش کی رفتار اور نائٹروجن طہارت کو سختی سے کنٹرول کرنے کی ضرورت ہے۔

2.1 آئسوپروپیل الکحل خشک کرنے کا طریقہ بغیر کسی نشان کے

واٹر مارک کے مسئلے کے لئے آئسوپروپیل الکحل خشک کرنے کا طریقہ بہتر بنایا گیا ہے۔ واٹر مارک کا نچوڑ سلیکن آکسائڈ ہائیڈریٹ کے نشانات ہیں اور خشک کرنے والے عمل کے دوران بقایا نمی کے ذریعہ ویفر کی سطح پر بننے والی نجاستوں کا سراغ ہے ، جو سلیکن سبسٹریٹ کی ہائیڈرو فوبیکیٹی اور ناہموار خشک ہونے کی وجہ سے مقامی پانی کی قطرہ برقرار رکھنے سے بہت قریب سے متعلق ہے۔

اس کی سطح کی کم تناؤ اور پانی کے ساتھ اچھ inter ے انٹر ڈسکشن کی وجہ سے ، آئسوپروپیل الکحل پانی کو مؤثر طریقے سے تبدیل کرسکتا ہے اور واٹر مارک کی تشکیل کے امکان کو کم کرسکتا ہے۔ نفاذ کے مخصوص طریقوں میں تین مرکزی دھارے میں شامل ٹکنالوجیز شامل ہیں: آئسوپروپیل الکحل بھاپ کو آئسوپروپیل الکحل بخارات کے ماحول میں کلین والے ویفر رکھ کر خشک کرنا ، ویفر کی سطح پر نمی کو تبدیل کرنے اور اسے خشک کرنے کے لئے بھاپ کا استعمال کرتے ہوئے۔ مارنگونی خشک کرنے والی یہ ہے کہ جب ویفر اور پانی کے درمیان انٹرفیس کے ساتھ بیک وقت آئسوپروپیل الکحل بخارات اور نائٹروجن کا اطلاق کرنا ہے جب ویفر کو الٹرا پیور کے پانی سے اٹھایا جاتا ہے ، اور پانی کی بوندوں کو کھینچنے اور باقیات سے بچنے کے ل surface پانی کی بوندوں سے بچنے کے لئے سطح تناؤ کے تدریجی سے تیزی سے پیچھے ہٹ جاتا ہے۔ روٹریگونی خشک کرنے سے روٹری خشک ہونے اور مارنگونی خشک ہونے کے دوہری فوائد کو یکجا ہوتا ہے ، گھومنے کے ذریعے پانی کے بخارات کو تیز کرتا ہے جبکہ اسوپروپائل الکحل بخارات کا استعمال کرتے ہوئے سطح کے تناؤ کا تدریجی تشکیل دیتا ہے ، زیادہ موثر خشک ہونے والے اثرات کو حاصل کرتا ہے اور واٹر مارکس کی تشکیل کو مزید روکتا ہے۔

حالیہ برسوں میں ، سیمیکمڈکٹر پروسیس نوڈس کو چھوٹے سائز میں ترقی دینے کے ساتھ ، خشک ہونے والے عمل کی صفائی ، یکسانیت اور ماحولیاتی تحفظ کے لئے اعلی تقاضوں کو آگے بڑھایا گیا ہے۔ نئی خشک کرنے والی ٹیکنالوجیز جیسے پلازما - معاون خشک ہونے والی اور سپرکریٹیکل کاربن ڈائی آکسائیڈ خشک کرنے سے آہستہ آہستہ تحقیقی میدان میں داخل ہورہا ہے ، سابقہ ​​پلازما {{2} actived ایکٹیویٹڈ سرفیس کے ذریعے کنٹیکٹ لیس خشک ہونے کا احساس کرتا ہے ، اور مؤخر الذکر سطح کی سطح کو حاصل کرنے کے ل super سطح کا استعمال کرتے ہیں۔ واٹر مارکس اور مستحکم بجلی کے مسائل سے گریز کرنا۔ ایک ہی وقت میں ، ماحولیاتی تحفظ کے اقدامات جیسے آئسوپروپیل الکحل کی ری سائیکلنگ اور دوبارہ استعمال کے نظام کی اصلاح اور کم گلوبل وارمنگ صلاحیت (جی ڈبلیو پی) کی ترقی جیسے متبادل سالوینٹس بھی اس صنعت کی توجہ کا مرکز بن چکے ہیں ، جس سے زیادہ موثر ، سبز اور زیادہ قابل اعتماد سمت میں سیمیکمڈکٹر صفائی اور خشک کرنے کے عمل کی ترقی کو فروغ ملتا ہے۔