سیلیکون ایپیٹیکسیل فرنس، گیلی صفائی کرنے والی مشین، آکسیڈیشن فرنس کیا ہے

0040-02544 اپر باڈی، ڈی پی ایس میٹا

0040-01973 REV.004 چیمبر باٹم ریڈینس 200MM RTPw

 

سلکان ایپیٹیکسیل بھٹیوں، گیلی صفائی کرنے والی مشینیں، اور آکسیڈیشن فرنس کے کیا استعمال ہیں؟
سلیکن ایپیٹیکسیل بھٹیوں کو مونوکریسٹل لائن سلکان ویفر کی سطح پر ایک انتہائی اعلیٰ معیار کی مونوکریسٹل لائن سلکان ایپیٹیکسیل پرت کو اگانے کے لیے استعمال کیا جاتا ہے، یعنی سلکان ایپیٹیکسیل ویفرز۔ سلیکون ایپیٹیکسیل ویفرز میں ہائی وولٹیج مزاحمت اور کم آن مزاحمت کی خصوصیات ہوتی ہیں، اور یہ بنیادی طور پر پاور ڈیوائسز جیسے MOSFETs، IGBTs، اور ٹرانزسٹرز، نیز اینالاگ چپس جیسے CMOS امیج سینسرز (CIS) اور پاور مینجمنٹ چپس تیار کرنے کے لیے استعمال ہوتے ہیں۔ (PMICs)۔
گیلی صفائی کرنے والی مشینوں کا استعمال ویفر سطح سے نجاست، ذرات اور نامیاتی مواد کو صاف سلیکون ویفر سطح کو یقینی بنانے کے لیے کیا جاتا ہے، اور عام طور پر لیتھوگرافی، ایچنگ، سی ایم پی، اور آئن امپلانٹیشن جیسے عمل کے بعد استعمال کیا جاتا ہے۔ تقریباً تمام چپس کو مینوفیکچرنگ کے عمل میں صاف کرنے کی ضرورت ہوتی ہے، بلاشبہ، صفائی کو پلازما کی صفائی اور گیلی صفائی میں تقسیم کیا جاتا ہے، پلازما کی صفائی ایک خشک طریقہ ہے، اور گیلی صفائی کے لیے مائع کی شرکت کی ضرورت ہوتی ہے۔

آکسیڈیشن فرنس کا استعمال سلیکون ویفر کی سطح پر ایک گھنے سلیکون آکسائیڈ فلم (SiO2) کو اگانے کے لیے کیا جاتا ہے، جو عام طور پر ٹنلنگ گیٹس، گیٹ آکسیڈیشن، سلکان لوکل آکسیڈیشن آئسولیشن آکسیڈیشن پیڈز (LOCOS پیڈ آکسائیڈ)، ماسکنگ فیلڈ آکسیڈیشن، آکسیکرن، وغیرہ

سیلیکون ایپیٹیکسیل فرنس، گیلی صفائی کی مشین، آکسیڈیشن فرنس کا اصول کیا ہے؟

جیسا کہ اوپر کی تصویر میں دکھایا گیا ہے، ایک قسم کی سلکان ایپیٹیکسیل فرنس لیمپ یا مزاحمتی حرارت کے ذریعے مطلوبہ اعلی درجہ حرارت فراہم کرتی ہے، SiHCl₃، ہائیڈروجن آرسنائیڈ (AsH₃) اور کیریئر گیس ہائیڈروجن (H₂) کو بھٹی میں داخل کرتی ہے، گیس گل جاتی ہے، اعلی درجہ حرارت پر اور سلکان ویفر کی سطح پر مونو کرسٹل لائن سلکان بناتا ہے، یعنی سلکان ایپیٹیکسیل پرت۔ ڈوپینز جیسے آرسینک کو کرسٹل جالی میں چالکتا کو تبدیل کرنے کے لیے شامل کیا جاتا ہے۔

جیسا کہ اوپر کے اعداد و شمار میں دکھایا گیا ہے، یہ گیلے بینچ کی قسم کا گیلے صفائی کرنے والا ایجنٹ ہے، گیلے بینچ ایک ایسا آلہ ہے جو سیمی کنڈکٹر کی تیاری کے عمل میں صفائی اور اینچنگ کے لیے استعمال ہوتا ہے، ویفر کو ایک ٹینک میں ڈالا جاتا ہے جس میں کیمیکل محلول ہوتا ہے، سطح کے آلودگیوں کو ہٹا دیا جاتا ہے۔ کیمیائی رد عمل کے ذریعے، اور پھر صفائی مکمل ہونے کے بعد deionized پانی کو کللا اور خشک کیا جاتا ہے، اور گیلی صفائی کا مقصد حاصل کیا جا سکتا ہے۔

جیسا کہ اوپر کی تصویر میں دکھایا گیا ہے، یہ ایک عمودی آکسیڈیشن فرنس ہے۔ آکسیڈیشن کے کئی طریقے ہیں، جیسے خشک آکسیجن، گیلی آکسیجن، ٹی ای او ایس آکسیڈیشن وغیرہ، یہاں خشک آکسیجن آکسیڈیشن کو ایک مثال کے طور پر لیں، آکسیڈیشن فرنس میں آکسیڈیشن کا درجہ حرارت 800 ڈگری سے 1200 ڈگری کے درمیان ہے، آکسیجن (O₂) ہے۔ آکسیڈیشن فرنس میں گزرنے کے بعد، سلیکون ویفر کوارٹج پیڈسٹل (کوارٹز پیڈسٹل) پر رکھا جاتا ہے، اور بھٹی میں اعلی درجہ حرارت کا ماحول سلیکون ویفر کی سطح پر آکسیجن اور سلیکون (Si) کے درمیان کیمیائی عمل کو فروغ دیتا ہے تاکہ SiO2 فلم تیار کی جا سکے۔ .
سیلیکون ایپیٹیکسیل فرنس، گیلے صفائی کی مشین، گھر اور بیرون ملک آکسیڈیشن فرنس؟
سلکان ایپیٹیکسیل فرنس
بیرون ملک: ریاستہائے متحدہ CVD آلات، ریاستہائے متحدہ GT، فرانس سوٹیک، فرانس AS، ریاستہائے متحدہ اپلائیڈ میٹریلز۔

گھریلو: چائنا الیکٹرانکس ٹیکنالوجی گروپ کا 48 واں انسٹی ٹیوٹ، ہیفی کیجنگ میٹریل ٹیکنالوجی کمپنی، ل.
گیلے صفائی کی مشین

بیرون ملک: LAM، TEL، AMAT، اسکرین وغیرہ۔

گھریلو: بہت سے
آکسیکرن بھٹی

بیرون ملک: لام وغیرہ
گھریلو: NAURA اور اسی طرح